3.35インチ！Crysdiam homoepitaxial単結晶ダイヤモンドが再び突破を遂げる

最近、Crysdiamのダイヤモンド工業団地で計画通りCVD大口径単結晶ダイヤモンドが発売されました。その中で、60mm x 60mmの単結晶ダイヤモンドが注目を集めました。

Crysdiamが製造した同質エピタキシャル単結晶ダイヤモンドプレート

左：製品サイズ 60mm x 60mm；右：長辺寸法 72.29 mm

これらのダイヤモンドプレートは同質エピタキシャル成長技術を採用しており、これはCrysdiamにとって初めての試みではありません！

中国寧波に本社を置くCrysdiamは、2014年に最初のCVD単結晶ダイヤモンドを生産して以来、10回以上の技術更新を経てきました。2023年末までに、3インチのCVD単結晶ダイヤモンドが成功裡に量産されました。現在、製品は再びアップグレードされ、3.35インチを超えるサイズとなり、Crysdiamは4インチ以上の単結晶ダイヤモンドの生産に向けて全力で取り組んでいます。

Crysdiam製品開発年表

マイクロ波プラズマ化学気相成長法（MPCVD）は、産業界で大サイズかつ高品質な単結晶ダイヤモンドを製造するための最良の方法として広く認識されています。現在、主に2つの技術ルートが存在します：同質外延成長と異質外延成長です。異質外延成長と比較すると、同質外延技術の利点は高い結晶品質、低い内部応力と変位密度、そしてより大きなダイヤモンド種子材料を成長させることができることにあります。これにより面積増加の効率が向上します。しかし、この技術も非常に挑戦的です。

Crysdiamは常に同質外延成長の道を進んでいます。60mm x 60mmというサイズを、半導体業界で一般的に使用されるウェハ単位に換算すると、約3.35インチになります。これはCrysdiamが公に報告した初めての事例でもあります。

新しい質の生産力を加速して形成することは、0から1への破壊的イノベーションと、1から100への安定性向上を加速することを意味します。張俊安会長は「現在、私たちの生産設備は複数回のアップグレードとイテレーションを経て、1500基の反応炉に拡大しました。これは、私たちが年間200万カラットの大口径高品質CVD単結晶ダイヤモンドの製造能力を持つようになったことを意味し、世界トップクラスに位置しています」と述べました。

現在、クリスダイアムはダイヤモンド材料、関連機器および応用分野における完全な産業レイアウトと標準化された生産能力を形成しています。クリスダイアムが製造するCVD単結晶ダイヤモンドの不純物含有量は10 ppb未満、表面粗さは1 nm未満であり、窒素やホウ素元素の制御可能なドープが可能で、ダイヤモンド材料の機能応用のためのより堅固な基盤を築いています。

イノベーションチェーンにおける優れた技術から、産業チェーンにおける新しい応用へと至る道のりは長く困難です。『長い材料』はその始まりに過ぎません。

Crysdiamの生産能力は達成されましたが、次のステップは産業チェーンの上流と下流との間でイノベーション連携を加速させることです。

張順安会長が紹介したところによると、Crysdiamは関連企業や研究機関との共同研究開発を加速しています。

クリスダムダイヤモンド工業団地および産業ライン沿いの各種設備

Crysdiamが行うべきことは、ダイヤモンド製品、成長反応器、レーザー装置、加工装置、検査試験装置における独立したイノベーションを完了した後も、産業の需要に焦点を当て、継続的に革新し、アップデートすることです。最終的には、応用範囲を拡大しながら下流に展開することで、ダイヤモンド産業の最前線に立つことになります。

現在、Crysdiamの高水平なR&Dセンターは設計図から現実のものとなりました。その敷地面積は82,000平方メートルで、初期投資は10億元に達します。建設面積が80,000平方メートルを超える現代的なダイヤモンド産業パークがすでに使用開始され、これによりCrysdiamは科学的成果の商業化を達成するという信念が強化されました。

「中国初のCVD単結晶ダイヤモンドの工業生産に特化した企業」；「自らの知的財産を持つ最初のMPCVD単結晶ダイヤモンド成長反応炉」；「自らの知的財産を持つ最初のCVD大型単結晶ダイヤモンド工業生産ライン」…これらすべてがCrysdiamの第一印象となるラベルとなっています。未来において、この革新の道はさらに続いていきます。