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3.35インチ!クリスディアムのホモエピタキシャル単結晶ダイヤモンドが再び突破 日本

2024 年 9 月 09 日

最近、クリスディアムのダイヤモンド工業団地でCVD大型単結晶ダイヤモンドが予定通り発売されました。その中でも、60mm×60mmの単結晶ダイヤモンドが注目を集めました。

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Crysdiam 社が製造するホモエピタキシャル単結晶ダイヤモンドプレート

左:製品サイズ 60mm x 60mm、右:長辺寸法 72.29 mm

これらのダイヤモンドプレートはホモエピタキシャル成長技術を採用していますが、これはCrysdiamにとって初めての試みではありません。

中国寧波に拠点を置くCrysdiamは、10年に最初のCVD単結晶ダイヤモンドを生産して以来、2014回以上の技術的改良を経てきました。2023年末までに、3インチのCVD単結晶ダイヤモンドの量産に成功しました。現在、製品はさらにアップグレードされ、サイズは3.35インチを超えており、Crysdiamは4インチ以上のサイズの単結晶ダイヤモンドの生産に向けて全力で取り組んでいます。

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Crysdiam 製品開発タイムライン

マイクロ波プラズマ化学気相成長法(MPCVD)は、業界では大型で高品質の単結晶ダイヤモンドを製造する最良の方法として広く認識されています。現在、ホモエピタキシーとヘテロエピタキシーという2つの主要な技術ルートがあります。ヘテロエピタキシャル成長と比較すると、ホモエピタキシャル技術の利点は、結晶品質が高く、内部応力と転位密度が低く、より大きなダイヤモンドシード材料を成長させることができることです。これにより、面積増加の効率が向上します。ただし、この技術は非常に困難でもあります。

Crysdiamは、一貫してホモエピタキシャル成長の道を歩んできました。60mm x 60mmのサイズは、半導体業界で一般的に使用されている単位のウェハに換算すると、約3.35インチです。Crysdiamが一般向けに報告するのは今回が初めてです。

新しい良質の生産力の形成を加速することは、破壊的イノベーションを0から1に、安定性の向上を1から100に加速することを意味します。会長の張俊安氏は、「現在、当社の生産設備は複数回のアップグレードと反復を経て、1500基のリアクターに拡張されました。これは、当社の大型で高品質のCVD単結晶ダイヤモンドの年間製造能力が2万カラットに達し、世界でもトップクラスであることを意味します」と述べました。

現在、Crysdiamはダイヤモンド材料、関連設備、応用分野において、完備した産業配置と標準化された生産能力を形成しています。Crysdiamが生産するCVD単結晶ダイヤモンドの不純物含有量は10ppb未満、表面粗さは1nm未満で、窒素とホウ素元素を制御可能にドープすることができ、ダイヤモンド材料の機能応用にさらに強固な基礎を築いています。

イノベーションチェーンにおける優れた技術から産業チェーンにおける新しいアプリケーションに至るまでは、長く困難な道のりです。「長尺素材」はほんの始まりに過ぎません。

クリスディアムの生産能力はすでに達成されており、次のステップは産業チェーンの上流と下流とのイノベーション連携を加速することです。

張俊安会長は、Crysdiamは関連企業や研究機関との共同研究開発を強化していると紹介した。

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クリシダムダイヤモンド工業団地と工業線沿いの各種設備

クリスディアムがすべきことは、業界の需要に焦点を当て、ダイヤモンド製品、成長炉、レーザー機器、加工機器、検査および試験機器の独立した革新を完了した後、継続的に革新と反復を行うことです。最終的には、下方に拡張し、アプリケーションを拡大することで、ダイヤモンド業界の発展の最前線に立つことになります。

現在、クリスディアムのハイレベルR&Dセンターは設計図から現実のものとなり、敷地面積は82,000平方メートル、初期投資額は1億元で、建築面積が80,000平方メートルを超える近代的なダイヤモンド工業団地がすでに運用されており、クリスディアムが科学成果の商業化を達成する自信が高まっています。

「中国初のCVD単結晶ダイヤモンドの工業生産に特化した企業」、「自主的な知的財産権を持つ初のMPCVD単結晶ダイヤモンド成長炉」、「自主的な知的財産権を持つ初のCVD大型単結晶ダイヤモンド工業生産ライン」...これらはすべてCrysdiamの第一印象ラベルとなっています。今後もこの革新の道は続きます。

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