3.35인치! 크리스디엄 호모에피택셜 단결정 다이아몬드가 다시 돌파하다 대한민국

최근 CVD 대형 단결정 다이아몬드가 크리스디엄 다이아몬드 산업단지에서 예정대로 출시되었습니다. 그중에서 60mm x 60mm 크기의 단결정 다이아몬드가 눈길을 끌었습니다.

Crysdiam에서 생산한 호모에피택시얼 단결정 다이아몬드 플레이트

왼쪽: 제품 크기 60mm x 60mm; 오른쪽: 긴 변 치수 72.29mm

이 다이아몬드 플레이트는 Crysdiam의 첫 번째 시도가 아닌 동종 에피택시얼 성장 기술을 채택했습니다!

중국 닝보에 본사를 둔 Crysdiam은 10년 첫 CVD 단결정 다이아몬드를 생산한 이후 2014회 이상의 기술적 반복을 거쳤습니다. 2023년 말까지 3인치 CVD 단결정 다이아몬드가 성공적으로 대량 생산되었습니다. 이제 제품은 다시 업그레이드되어 크기가 3.35인치를 넘었고 Crysdiam은 4인치 이상의 단결정 다이아몬드 생산을 향해 달려가고 있습니다.

Crysdiam 제품 개발 타임라인

마이크로파 플라스마 화학 기상 증착(MPCVD)은 업계에서 대형 및 고품질 단결정 다이아몬드를 생산하는 가장 좋은 방법으로 널리 알려져 있습니다. 현재 두 가지 주요 기술 경로가 있습니다. 호모에피택시와 헤테로에피택시입니다. 헤테로에피택시 성장과 비교할 때 호모에피택시 기술의 장점은 높은 결정 품질, 낮은 내부 응력 및 전위 밀도, 더 큰 다이아몬드 시드 재료를 성장시킬 수 있는 능력에 있습니다. 따라서 면적 증가의 효율성을 개선합니다. 그러나 이 기술은 또한 매우 어렵습니다.

Crysdiam은 항상 호모에피택시얼 성장의 길을 따라왔습니다. 반도체 산업 웨이퍼에서 일반적으로 사용되는 단위로 환산한 60mm x 60mm의 크기는 약 3.35인치입니다. 또한 Crysdiam이 대중에게 보고한 것은 이번이 처음입니다.

새로운 고품질 생산력 형성을 가속화한다는 것은 파괴적 혁신을 0에서 1로, 안정성 개선을 1에서 100으로 가속화한다는 것을 의미합니다. 회장인 장쥔안은 "현재 당사의 생산 장비는 여러 차례의 업그레이드와 반복을 거쳐 1500개의 반응기로 확장되었습니다. 이는 당사의 대형 고품질 CVD 단결정 다이아몬드 연간 제조 용량이 2만 캐럿에 도달하여 세계 최고 수준에 도달했음을 의미합니다."라고 말했습니다.

현재, Crysdiam은 다이아몬드 소재, 관련 장비 및 응용 분야에 대한 완전한 산업 레이아웃과 표준화된 생산 능력을 형성했습니다. Crysdiam에서 생산한 CVD 단결정 다이아몬드의 불순물 함량은 10ppb 미만이고, 표면 거칠기는 1nm 미만이며, 질소 및 붕소 원소로 제어 가능하게 도핑할 수 있어 다이아몬드 소재의 기능적 응용을 위한 더욱 견고한 기반을 마련했습니다.

혁신 사슬의 좋은 기술에서 산업 사슬의 새로운 응용 분야로 가는 길은 길고 힘듭니다. '긴 소재'는 시작에 불과합니다.

크리스디엄의 생산능력은 이미 달성되었으며, 다음 단계는 산업 사슬의 상류와 하류와의 혁신 연계를 가속화하는 것입니다.

장쥔안 회장은 크리스디엄이 관련 기업 및 연구 기관과 공동 연구개발에 박차를 가하고 있다고 소개했습니다.

크리시담 다이아몬드 산업단지와 산업 노선을 따라 있는 다양한 장비

Crysdiam이 해야 할 일은 산업 수요에 집중하고, 다이아몬드 제품, 성장 반응기, 레이저 장비, 가공 장비, 검사 및 테스트 장비에서 독립적인 혁신을 완료한 후 지속적으로 혁신하고 반복하는 것입니다. 궁극적으로, 그것은 아래로 확장하고 응용 프로그램을 확장함으로써 다이아몬드 산업 개발의 ​​최전선에 설 것입니다.

현재, Crysdiam의 고급 R&D 센터는 설계 청사진에서 현실로 전환되었습니다. 면적은 82,000제곱미터이며 초기 투자는 1억 위안입니다. 건축 면적이 80,000제곱미터가 넘는 현대 다이아몬드 산업단지가 활용되었습니다. 이를 통해 Crysdiam이 과학적 성과의 상업화를 달성할 수 있는 자신감이 높아졌습니다.

"CVD 단결정 다이아몬드의 산업 생산을 전문으로 하는 최초의 중국 기업"; "독립적 지적 재산권을 가진 최초의 MPCVD 단결정 다이아몬드 성장 반응기"; "독립적 지적 재산권을 가진 최초의 CVD 대형 단결정 다이아몬드 산업 생산 라인"... 이 모든 것이 Crysdiam의 첫 인상 라벨이 되었습니다. 앞으로도 이러한 혁신의 길은 계속될 것입니다.