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MPCVD-Reaktor909-44

MPCVD-Reaktor

Startseite >  Ausrüstung >  MPCVD-Reaktor

MPCVD-Reaktor Deutschland

Entwickelt von Crysdiam und aktualisierbar 

  • Beschreibung
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Beschreibung

Der MPCVD-Reaktor wurde von Crysdiam mit vollständigen geistigen Eigentumsrechten entwickelt und ist aufrüstbar.

Spezifikationen

Labor-Stromversorgungen AC380±10% V Dreiphasen-Fünfleitersystem 50Hz
Mikrowellenausgangsleistung 0-6kW stufenlos regelbar
Kraftstabilität Besser als 1%
Mikrowellenfrequenz 2450MHz ± 50MHz
Vakuumleckrate Besser als 1×10-9 Pa· m³/s
Effektive Ablagerungsfläche ≥φ60mm
Druckluft ≥ 4-Wege (anpassbar)
Mikrowellen-Leckwerte <5mW/cm²
Arbeitsumfeld Temperatur 15–40 °C, relative Luftfeuchtigkeit ≤ 70 %, keine korrosiven Gase
Mikrowellenumwandlungseffizienz ≥ 60%

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