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MPCVD-Reaktor

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MPCVD-Reaktor

Entwickelt von Crysdiam und aufgradable

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Produktbeschreibung

Der MPCVD-Reaktor wurde von Crysdiam entwickelt und verfügt über vollständige geistige Eigentumsrechte und ist aufgradable.

TECHNISCHE DATEN

Stromversorgung AC380±10% V Drei-Phasen-Fünf-Leiter-System 50Hz
Mikrowellen-Ausgangsleistung 0-6kW stetig verstellbar
Leistungsstabilität Besser als 1%
Mikrowellenfrequenz 2450MHz±50MHz
Vakuumschadensrate Besser als 1×10 −9 Pa· m³/s
Effektiver Depositionsbereich ≥φ60mm
Luftversorgung ≥ 4 Wege (anpassbar)
Mikrowellenleckschaden <5mW/cm²
Arbeitsumgebung Temperatur 15-40℃, relative Luftfeuchtigkeit ≤70%, keine korrosiven Gase
Mikrowellen-Umsetzungseffizienz ≥60%

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