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MPCVDリアクター

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MPCVDリアクター

Crysdiamによって開発され、アップグレード可能

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製品の説明

MPCVDリアクターは、Crysdiamによって完全な知的財産権を備えて開発され、アップグレード可能です。

仕様

電源 AC380±10% V 三相五線式 50Hz
マイクロ波出力電力 0-6kW連続調整可能
電力の安定性 1%より優れています
マイクロ波周波数 2450MHz±50MHz
真空漏れ率 1×10より優れる −9 Pa・ m³/s
有効沈着面積 ≥φ60mm
空気供給 ≥ 4方向(カスタマイズ可能)
マイクロ波漏れ値 <5mW/cm²
作業環境 温度15-40℃、相対湿度≤70%、腐食性ガスなし
マイクロ波変換効率 ≥60%

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