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MPCVD 반응기

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MPCVD 반응기 대한민국

Crysdiam에서 개발했으며 업그레이드 가능 

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  • 제품 사양
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여행지 설명

MPCVD 반응기는 완전한 지적 재산권을 보유한 Crysdiam에서 개발했으며 업그레이드가 가능합니다.

제품 사양

전원 공급 장치 AC380±10% V 50상 XNUMX선식 XNUMXHz
마이크로파 출력 전력 0-6kW 연속 조정 가능
전력 안정성 1 %보다 좋습니다.
마이크로파 주파수 2450MHz ± 50MHz
진공 누출율 1×10보다 더 좋음- 9 파·m³/초
유효 증착 면적 ≥ 60mm
공기 공급 ≥ 4방향 (사용자 정의 가능)
마이크로파 누설 값 <5mW/cm²
근무 환경 온도 15-40℃, 상대 습도 ≤70%, 부식성 가스 없음
마이크로파 변환 효율 ≥ 60의 %

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