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MPCVD 반응로

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MPCVD 반응로

Crysdiam에서 개발하고 업그레이드 가능

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제품 설명

MPCVD 반응로는 Crysdiam에서 완전한 지적 재산권을 가지고 개발되었으며 업그레이드 가능합니다.

제품 사양

전원 공급 장치 AC380±10% V 삼상 오선 시스템 50Hz
마이크로파 출력 전력 0-6kW 연속 조절 가능
파워 안정성 1% 미만
전자파 주파수 2450MHz±50MHz
진공 누출율 1×10보다 우수함 −9 Pa· m³/s
유효 침착 면적 ≥φ60mm
공기 공급 ≥ 4 방향 (맞춤형 가능)
마이크로파 누출 값 <5mW/cm²
작업 환경 온도 15-40℃, 상대 습도 ≤70%, 부식성 가스 없음
마이크로파 변환 효율 ≥60%

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