ເຄື່ອງປັບແຜ່ນ CMP ທີ່ພວກເຮົາຜະລິດແມ່ນເຮັດດ້ວຍເພັດ CVD ກ້ອນດຽວ. burrs ຂອງຕາຂ່າຍໄຟຟ້າເພັດມີຮູບຮ່າງເປັນເອກະພາບແລະມຸມຄວບຄຸມໄດ້, ມີອັດຕາການ degranulation ເກືອບສູນ. ເຄື່ອງປັບອາກາດສາມາດສົ່ງຄືນໃຫ້ພວກເຮົາສໍາລັບການສ້ອມແປງຫຼັງຈາກໄລຍະເວລາຂອງການນໍາໃຊ້, ເຊິ່ງຊ່ວຍເພີ່ມປະສິດທິພາບການປັບສະພາບຂອງແຜ່ນຂັດສໍາລັບ wafers.
CMP Single Crystal CVD Diamond Conditioner ຜະລິດໂດຍ Crysdiam | ເຄື່ອງປັບສີເພັດ CMP ທຳມະດາອື່ນໆ |
ຜະລິດຈາກແຜ່ນເພັດ CVD ກ້ອນດຽວທັງໝົດ, ມີ burrs ເປັນເອກະພາບໃນຮູບຮ່າງທີ່ສອດຄ່ອງ, ສະຫນອງການ combing ເພີ່ມເຕີມຂອງແຜ່ນຂັດ. | ການສ້ອມແຊມອະນຸພາກເພັດໂດຍ electroplating ຫຼື soldering ກັບຂະຫນາດອະນຸພາກ nonuniform, ຊຶ່ງເຮັດໃຫ້ຄວາມສູງຂອງ burrs ບໍ່ສະເຫມີກັນແລະຜົນກະທົບຂອງສະພາບທີ່ບໍ່ດີ. |
ຜະລິດຈາກແຜ່ນເພັດ CVD ກ້ອນດຽວລວມທັງຫມົດແລະຖືກປະຕິບັດເປັນພິເສດເພື່ອມີໂອກາດຕໍ່າທີ່ຈະຫຼຸດລົງເມັດພືດ, ເຊິ່ງຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຕໍ່ຄວາມເສຍຫາຍຂອງ wafers ໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. | detachment ເພັດສາມາດເກີດຂຶ້ນໃນລະຫວ່າງການຂັດ, ທໍາລາຍ wafers ໄດ້. |
ຫຼັງຈາກໄລຍະເວລາຂອງການນໍາໃຊ້, ມັນສາມາດສົ່ງຄືນໃຫ້ພວກເຮົາເພື່ອສ້ອມແປງ, ຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການນໍາໃຊ້ໃນໄລຍະຍາວ. | ຂະບວນການ soldering ຫຼື electroplating ມີແນວໂນ້ມທີ່ຈະນໍາເອົາ impurities ໂລຫະທີ່ປົນເປື້ອນ pad ຂັດກັບ slurry ຂັດ. ຄວາມບໍ່ສະອາດຂອງໂລຫະຈະປົນເປື້ອນ wafers, ນໍາໄປສູ່ການຮົ່ວໄຫຼຂອງວົງຈອນປະສົມປະສານ. |
ຮູບຮ່າງແລະມຸມຂອງ burrs ສາມາດປັບແຕ່ງໄດ້, ແລະຄວາມເລິກຂອງການໃຫ້ຄະແນນແລະຮ່ອງສາມາດຄວບຄຸມ, ຫຼຸດຜ່ອນການຕັດເກີນຂອງແຜ່ນຂັດແລະຍືດອາຍຸການບໍລິການຂອງພວກເຂົາ. | ຄວາມສາມາດໃນການປັບຄວາມເລິກຂອງອະນຸພາກແລະຄວາມຄົມຊັດຂອງແຜ່ນຂັດແມ່ນຕໍ່າ, ເຊິ່ງນໍາໄປສູ່ການສວມໃສ່ຫຼາຍເກີນໄປຂອງແຜ່ນຂັດ. ຜົນກະທົບຂອງແຜ່ນຂັດຂັດແມ່ນບໍ່ດີ, ແລະຊີວິດການບໍລິການສັ້ນລົງ. |
ດ້ານ exposed ຂອງເພັດໄປເຊຍກັນດຽວເປັນຮູບແບບຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຂອງ lattice, ກ້ຽງແລະບໍ່ cleavage, ຫຼຸດຜ່ອນຂໍ້ບົກພ່ອງຂອງ wafer polishing. | ບໍ່ສາມາດຄວບຄຸມຄວາມເລິກແລະຫ່າງໄກສອກຫຼີກຂອງຮ່ອງ etched ໃນ pad ຂັດໄດ້. ອັດຕາການກໍາຈັດ wafer ຕ່ໍາຫຼືການຂັດທີ່ບໍ່ສະເຫມີກັນ. |
ເພັດໄປເຊຍກັນດຽວໄດ້ຖືກປຸງແຕ່ງໂດຍໃຊ້ເທກໂນໂລຍີ laser engraving ເພື່ອຫຼີກເວັ້ນການປົນເປື້ອນໂລຫະຂອງ wafers. | ການນໍາໃຊ້ເພັດ CVD polycrystalline ທີ່ເຄືອບເຊລາມິກມີທິດທາງເສັ້ນດ່າງທີ່ບໍ່ເປັນລະບຽບທີ່ເຮັດໃຫ້ມັນບໍ່ສາມາດນໍາມາໃຊ້ໃຫມ່ໄດ້. Cleavage ເກີດຂື້ນ, ເຊິ່ງເພີ່ມຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການຜິດປົກກະຕິຂອງ wafer ແລະຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ. |
ຈຸດທີ່ມີຢູ່ເຖິງ 700 ຕາຫນ່າງ, ເພີ່ມປະສິດທິພາບການປັບສະພາບຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. |
ເພັດທີ່ປູກໃນຫ້ອງທົດລອງສີຂາວ ແລະສີ fancy ໃນຂະຫນາດ ແລະຮູບຮ່າງຕ່າງໆ;
ສະເໜີໃຫ້ເປັນຫີນທີ່ຜ່ານການຮັບຮອງ/ບໍ່ຢັ້ງຢືນ, ຄູ່ທີ່ຈັບຄູ່ກັນໄດ້, ແລະພັລສະຕິກທີ່ປັບທຽບໄດ້.