MPCVD реакторыг Crysdiam компани оюуны өмчийн бүрэн эрхтэйгээр бүтээсэн бөгөөд шинэчлэх боломжтой.
эрчим хүчний хангамж | AC380±10% V гурван фазын таван утастай систем 50Гц |
Богино долгионы гаралтын чадал | 0-6кВт тасралтгүй тохируулах боломжтой |
Эрчим хүчний тогтвортой байдал | 1% -аас сайн |
Бичил долгионы давтамж | 2450MHz ± 50MHz |
Вакуум гоожих хурд | 1×10-аас илүү-9 Па· м³/с |
Үр дүнтэй хуримтлуулах талбай | ≥φ60мм |
Агаарын хангамж | ≥ 4 зам (захиалах боломжтой) |
Богино долгионы алдагдлын утгууд | <5мВт/см² |
ажлын орчин | Температур 15-40℃, харьцангуй чийгшил ≤70%, идэмхий хий байхгүй |
Бичил долгионы хувиргах үр ашиг | ≥60% |
Янз бүрийн хэмжээ, хэлбэрийн лабораторид ургуулсан цагаан, гоёмсог өнгөт алмааз;
Баталгаажсан/баталгаагүй чулуу, тохирсон хос, тохируулсан илгээмж хэлбэрээр санал болгож байна.