Il condizionatore di dischi CMP che produciamo è fatto di diamante CVD monocristallino. Le bave delle griglie diamantate hanno forme uniformi e angoli controllabili, con un tasso di degranulazione quasi pari a zero. Il condizionatore può essere restituito a noi per la riparazione dopo un periodo di utilizzo, il che migliora significativamente l'efficienza di condizionamento del tampone di lucidatura per wafer.
Condizionatore di diamante CVD monocristallino CMP prodotto da Crysdiam | Altro condizionatore diamantato CMP ordinario |
Interamente realizzata con una piastra diamantata CVD monocristallina, con bave uniformi dalla forma uniforme, che garantiscono una pettinatura più uniforme del tampone di lucidatura. | Fissaggio di particelle di diamante mediante elettrodeposizione o saldatura con granulometria non uniforme, che determina altezze irregolari delle sbavature e scarso effetto di condizionamento. |
Interamente costituito da una piastra di diamante CVD monocristallina, è appositamente trattato per ridurre al minimo la possibilità di caduta dei grani, riducendo così notevolmente il rischio di danni ai wafer. | Durante la lucidatura può verificarsi il distacco del diamante, danneggiando le cialde. |
Dopo un periodo di utilizzo, può essere restituito per la riparazione, riducendo i costi di utilizzo a lungo termine. | I processi di saldatura o galvanizzazione tendono a introdurre impurità metalliche che contaminano il tampone di lucidatura con la sospensione abrasiva. Le impurità metalliche contamineranno i wafer, causando perdite di circuiti integrati. |
È possibile personalizzare la forma e l'angolazione delle bave, nonché controllare la profondità delle incisioni e delle scanalature, riducendo il taglio eccessivo del tampone lucidante e prolungandone la durata utile. | La capacità di regolare la profondità delle particelle e la nitidezza del taglio del tampone di lucidatura sono scarse, il che porta a un'usura eccessiva del tampone. L'effetto di pettinatura del tampone di lucidatura è scarso e la durata utile è ridotta. |
La superficie esposta del diamante monocristallino è un reticolo continuo, liscio e senza sfaldature, che riduce i difetti di lucidatura del wafer. | Impossibile controllare la profondità e la spaziatura delle scanalature incise nel tampone di lucidatura. Bassa velocità di rimozione dei wafer o lucidatura non uniforme. |
Il diamante monocristallino viene lavorato utilizzando la tecnologia di incisione laser per evitare la contaminazione metallica dei wafer. | L'uso del diamante policristallino CVD rivestito in ceramica ha un orientamento reticolare disorganizzato che ne rende impossibile il riutilizzo. Si verifica una scissione, che aumenta il rischio di difetti del wafer e i costi. |
I punti disponibili fino a 700 mesh aumentano notevolmente l'efficienza del condizionamento. |
Diamanti bianchi e colorati creati in laboratorio, di varie dimensioni e forme;
Disponibili come pietre certificate/non certificate, coppie abbinate e pacchi calibrati.