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Condizionatore per Diamanti CMP

Diamante CVD a cristallo singolo

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Descrizione del Prodotto

Il condizionatore di dischi CMP che produciamo è realizzato in diamante CVD monocristallino. Le asperità delle griglie diamantate hanno forme uniformi e angoli controllabili, con un tasso di degranulazione quasi zero. Il condizionatore può essere restituito a noi per riparazione dopo un certo periodo di utilizzo, il che aumenta significativamente l'efficienza di condizionamento del disco abrasivo per i wafer.

Specifiche

Condizionatore di Diamante CVD Monocristallino CMP prodotto da Crysdiam Altro Condizionatore Diamantato CMP Ordinario
Realizzato in piastre di diamante CVD monocristallino nel suo complesso, con asperità uniformi in forma coerente, fornendo una combinazione più uniforme del disco abrasivo. Fissaggio di particelle diamantate tramite elettroplaccatura o saldatura con dimensioni non uniformi, il che causa altezze irregolari delle asperità e un effetto di condizionamento scadente.
Realizzato in piastre di diamante CVD monocristallino nel suo complesso e trattato in modo speciale per ridurre al minimo la possibilità di caduta dei granuli, il che diminuisce notevolmente il rischio di danneggiamento dei wafer. La detachement del diamante può verificarsi durante il lucidamento, danneggiando i wafer.
Dopo un periodo di utilizzo, può essere restituito a noi per riparazione, riducendo i costi di utilizzo a lungo termine. I processi di saldatura o elettroplaccatura tendono ad introdurre impurità metalliche che contaminano la pelle di lucidatura con la pasta abrasiva. Le impurità metalliche contamineranno i wafer, causando perdite nei circuiti integrati.
La forma e l'angolo delle bordature possono essere personalizzati e la profondità dei segni e delle scanalature può essere controllata, riducendo il taglio eccessivo della pelle di lucidatura e prolungandone la durata. La capacità di regolare la profondità delle particelle e la tagliente della pelle di lucidatura è bassa, il che porta a un'eccessiva usura della pelle. L'effetto di spazzolatura della pelle di lucidatura è scadente e la durata è accorciata.
La superficie esposta del diamante monouso è un modello continuo di reticolo, liscio e privo di scissioni, riducendo i difetti di lucidatura dei wafer. Impossibile controllare la profondità e lo spaziamento delle scanalature incise nel disco di lucidatura. Tasso di rimozione del wafer basso o lucidatura irregolare.
Il diamante monouso viene lavorato utilizzando la tecnologia di incisione laser per evitare la contaminazione metallica dei wafer. L'uso di diamante policristallino CVD rivestito con ceramica ha una struttura a griglia disorganizzata che ne impedisce il riutilizzo. Si verificano fratture, aumentando il rischio di difetti sui wafer e i costi.
Punti disponibili fino a 700 mesh, che aumentano significativamente l'efficienza della condizionatura.

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