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기계 등급

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CMP 다이아몬드 컨디셔너

단일結晶 CVD 다이아몬드

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제품 설명

우리가 생산하는 CMP 디스크 컨디셔너는 단일結晶 CVD 다이아몬드로 만들어집니다. 다이아몬드 그리드의 버르스는 균일한 형태와 제어 가능한 각도를 가지고 있으며, 거의 제로 수준의 탈립률을 유지합니다. 일정 기간 사용 후 컨디셔너를 우리에게 반환하여 수리할 수 있어 웨이퍼용 연마패드의 조건링 효율이 크게 향상됩니다.

제품 사양

Crysdiam에서 생산한 CMP 단결정 CVD 다이아몬드 컨디셔너 다른 일반적인 CMP 다이아몬드 컨디셔너
단일결정 CVD 다이아몬드 판으로 만들어졌으며, 일정한 모양의 균일한 버르스를 제공하여 연마 패드를 더 고르게 정리합니다. 전기 도금 또는 브레이징을 통해 결합된 다이아몬드 입자로, 입자의 크기가 불균일해 버르스의 높이가 일정하지 않고 조건링 효과가 좋지 않습니다.
단일결정 CVD 다이아몬드 판으로 만들어져 특수 처리되어 탈립 가능성이 낮아 웨이퍼 손상 위험이 크게 줄어듭니다. 다이아몬드가 연마 중에 분리될 수 있어 웨이퍼를 손상시킬 수 있습니다.
일정 기간 사용 후에는 수리 목적으로 우리에게 반환할 수 있어 장기적인 사용 비용을 줄입니다. 땜땜이나 전기 도금 공정은 일반적으로 금속 잔여물을 발생시켜 연마제 슬러지로 인해 연마 패드를 오염시킵니다. 금속 잔여물은 웨이퍼를 오염시키고 집적 회로의 누설을 초래할 수 있습니다.
버르의 모양과 각도는 맞춤형으로 설계할 수 있으며, 점선과 홈의 깊이는 통제되어 연마 패드의 과잉 절삭을 줄이고 서비스 수명을 연장합니다. 연마 패드의 입자 깊이와 절삭 날카로움을 조절하는 능력이 낮아 패드의 과도한 마모를 초래합니다. 연마 패드의 정리 효과가 좋지 않고 수명이 짧아집니다.
단결정 다이아몬드의 노출된 표면은 연속적인 격자 형태로 매끄럽고 균열이 없어 웨이퍼 연마 결함을 줄입니다. 연마 패드에 새겨진 홈의 깊이와 간격을 제어할 수 없음. 웨이퍼 제거 속도가 낮거나 연마가 불균일함.
단결정 다이아몬드는 금속 오염을 방지하기 위해 레이저 조각 기술을 사용하여 처리됩니다. 세라믹 코팅 CVD 다결정 다이아몬드를 사용하면 불규칙한 격자 방향으로 인해 재사용이 불가능하며, 균열이 발생하여 웨이퍼 결함 및 비용 증가 위험이 큼.
700 메시까지 점이 제공되어 조건부 효율성이大幅히 향상됨.

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