당사에서 생산하는 CMP 디스크 컨디셔너는 단결정 CVD 다이아몬드로 만들어집니다. 다이아몬드 그리드의 버는 균일한 모양과 제어 가능한 각도를 가지고 있으며, 탈과립화율은 거의 0입니다. 컨디셔너는 사용 기간 후 수리를 위해 당사로 반환할 수 있으며, 이는 웨이퍼용 연마 패드의 컨디셔닝 효율성을 크게 향상시킵니다.
| Crysdiam에서 생산한 CMP 단결정 CVD 다이아몬드 컨디셔너 | 기타 일반 CMP 다이아몬드 컨디셔너 |
| 단일 결정 CVD 다이아몬드 플레이트로 제작되었으며, 일관된 모양의 균일한 버가 있어 연마 패드를 더욱 고르게 빗질할 수 있습니다. | 불균일한 입자 크기를 갖는 다이아몬드 입자를 전기 도금이나 납땜으로 고정하면 버의 높이가 고르지 않고 컨디셔닝 효과가 저하됩니다. |
| 전체가 단결정 CVD 다이아몬드 플레이트로 만들어졌으며 입자가 떨어질 가능성이 낮도록 특수 처리되어 웨이퍼가 손상될 위험을 크게 줄였습니다. | 다이아몬드가 연마 과정에서 분리되어 웨이퍼를 손상시킬 수도 있습니다. |
| 일정 기간 사용 후 수리를 위해 반납할 수 있어 장기 사용 비용이 줄어듭니다. | 납땜 또는 전기 도금 공정은 연마 패드를 연마 슬러리로 오염시키는 금속 불순물을 가져오는 경향이 있습니다. 금속 불순물은 웨이퍼를 오염시켜 집적 회로의 누출로 이어집니다. |
| 버의 모양과 각도는 맞춤 설정이 가능하며, 긁힘과 홈의 깊이를 제어하여 연마 패드의 과도한 절단을 줄이고 서비스 수명을 연장할 수 있습니다. | 연마 패드의 입자 깊이와 절단 날카로움을 조절하는 능력이 낮아 패드가 과도하게 마모됩니다. 연마 패드 빗질 효과가 좋지 않고 수명이 단축됩니다. |
| 단결정 다이아몬드의 노출된 표면은 격자의 연속적인 패턴으로 매끄럽고 쪼개짐이 없어 웨이퍼 연마 결함이 줄어듭니다. | 연마 패드에 에칭된 홈의 깊이와 간격을 제어할 수 없음. 웨이퍼 제거 속도가 낮거나 연마가 고르지 않음. |
| 단결정 다이아몬드는 웨이퍼의 금속 오염을 피하기 위해 레이저 조각 기술을 사용하여 가공됩니다. | 세라믹 코팅 CVD 다결정 다이아몬드를 사용하면 격자 방향이 무질서하여 재사용이 불가능합니다. 절단이 발생하여 웨이퍼 결함과 비용의 위험이 증가합니다. |
| 최대 700메시까지 사용 가능한 포인트로 컨디셔닝 효율이 크게 높아집니다. |
다양한 크기와 모양의 흰색과 화려한 색상의 실험실에서 재배된 다이아몬드
인증/미인증 돌, 짝을 이룬 쌍, 교정된 소포로 제공됩니다.
CVD 실험실에서 재배된 다이아몬드의 선도적 생산업체인 Crysdiam은 보석 산업과 다양한 첨단 기술 분야에서 사용되는 고품질 제품을 제공하고 있습니다.
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