우리가 생산하는 CMP 디스크 컨디셔너는 단일結晶 CVD 다이아몬드로 만들어집니다. 다이아몬드 그리드의 버르스는 균일한 형태와 제어 가능한 각도를 가지고 있으며, 거의 제로 수준의 탈립률을 유지합니다. 일정 기간 사용 후 컨디셔너를 우리에게 반환하여 수리할 수 있어 웨이퍼용 연마패드의 조건링 효율이 크게 향상됩니다.
Crysdiam에서 생산한 CMP 단결정 CVD 다이아몬드 컨디셔너 | 다른 일반적인 CMP 다이아몬드 컨디셔너 |
단일결정 CVD 다이아몬드 판으로 만들어졌으며, 일정한 모양의 균일한 버르스를 제공하여 연마 패드를 더 고르게 정리합니다. | 전기 도금 또는 브레이징을 통해 결합된 다이아몬드 입자로, 입자의 크기가 불균일해 버르스의 높이가 일정하지 않고 조건링 효과가 좋지 않습니다. |
단일결정 CVD 다이아몬드 판으로 만들어져 특수 처리되어 탈립 가능성이 낮아 웨이퍼 손상 위험이 크게 줄어듭니다. | 다이아몬드가 연마 중에 분리될 수 있어 웨이퍼를 손상시킬 수 있습니다. |
일정 기간 사용 후에는 수리 목적으로 우리에게 반환할 수 있어 장기적인 사용 비용을 줄입니다. | 땜땜이나 전기 도금 공정은 일반적으로 금속 잔여물을 발생시켜 연마제 슬러지로 인해 연마 패드를 오염시킵니다. 금속 잔여물은 웨이퍼를 오염시키고 집적 회로의 누설을 초래할 수 있습니다. |
버르의 모양과 각도는 맞춤형으로 설계할 수 있으며, 점선과 홈의 깊이는 통제되어 연마 패드의 과잉 절삭을 줄이고 서비스 수명을 연장합니다. | 연마 패드의 입자 깊이와 절삭 날카로움을 조절하는 능력이 낮아 패드의 과도한 마모를 초래합니다. 연마 패드의 정리 효과가 좋지 않고 수명이 짧아집니다. |
단결정 다이아몬드의 노출된 표면은 연속적인 격자 형태로 매끄럽고 균열이 없어 웨이퍼 연마 결함을 줄입니다. | 연마 패드에 새겨진 홈의 깊이와 간격을 제어할 수 없음. 웨이퍼 제거 속도가 낮거나 연마가 불균일함. |
단결정 다이아몬드는 금속 오염을 방지하기 위해 레이저 조각 기술을 사용하여 처리됩니다. | 세라믹 코팅 CVD 다결정 다이아몬드를 사용하면 불규칙한 격자 방향으로 인해 재사용이 불가능하며, 균열이 발생하여 웨이퍼 결함 및 비용 증가 위험이 큼. |
700 메시까지 점이 제공되어 조건부 효율성이大幅히 향상됨. |
백색과 화려한 색상의 실험실에서 만든 다이아몬드로 다양한 크기와 모양이 있습니다;
공인된/비공인된 돌, 짝 맞춘 쌍, 그리고 캘리브레이션 세트로 제공됩니다.