MPCVD Reactor

ຖືກພັດທະນາໂດຍ Crysdiam ແລະສາມາດອັບເกรດໄດ້

MPCVD reactor ໄດ້ຖືກພັດທະນາໂດຍ Crysdiam ກັບກັບ complete intellectual property rights ແລະ ໄດ້ຖືກupgrade.

ການສະຫນິດແພະຍົງ	AC380±10% V three-phase five-wire system 50Hz
ຄວາມແຂງອຸ້ນໂມເວັດ	0-6kW ຄົບຖ່ວງກັບໄປໄດ້
ດຳເນີນການຕົວເລກ	ຫຼາຍກວ່າ 1%
ລະດັບຮູ້ສຶກຂອງໂມເວັດ	2450MHz±50MHz
ອິດຕິພາບການຫຼີກຂອງເວົ້າ	ຫຼາຍກວ່າ 1×10 ⁻⁹Pa· m³/s
ເຂດທີ່ຕັ້ງທີ່ມີຜົນປະສົບ	≥φ60ມີ.
ການສະໜອງເຄື່ອງປ້ອມ	≥ 4 ໂຕ (ແປງໄດ້)
ມູນຄ່າການລິ້ນຫຼັງຂອງເຄື່ອງໜັວ	＜5mW/ cm²
ສະພາບການເຮັດວຽກ	ອຸນຫະພູມ 15-40℃, ອຸນຫະພູມสຳพັນ <=70%, ບໍ່ມີກ๊າຊທີ່ກັບກຳ
ຄວາມມີຜົນສະເພາະຂອງເຄື່ອງໜັວ	≥60%