ເຄື່ອງປະຕິກອນ MPCVD ຖືກພັດທະນາໂດຍ Crysdiam ດ້ວຍສິດທິຊັບສິນທາງປັນຍາທີ່ສົມບູນແລະສາມາດຍົກລະດັບໄດ້.
| ຫນອງພະລັງງານ | AC380±10% V ລະບົບສາມເຟດຫ້າສາຍ 50Hz |
| ພະລັງງານອອກໄມໂຄເວຟ | 0-6kW ປັບຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ |
| ສະຖຽນລະພາບພະລັງງານ | ດີກ່ວາ 1% |
| ຄວາມຖີ່ຂອງໄມໂຄເວຟ | 2450MHz ± 50MHz |
| ອັດຕາການຮົ່ວໄຫຼສູນຍາກາດ | ດີກວ່າ 1×10-9 Pa· m³/s |
| ພື້ນທີ່ການຖິ້ມຂີ້ເຫຍື້ອທີ່ມີປະສິດທິພາບ | ≥φ60mm |
| Air Supply | ≥ 4 ວິທີ (ປັບແຕ່ງໄດ້) |
| ຄ່າການຮົ່ວໄຫຼຂອງໄມໂຄເວຟ | ＜5mW/cm² |
| ສະພາບແວດລ້ອມການເຮັດວຽກ | ອຸນຫະພູມ 15-40℃, ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນພີ່ນ້ອງ≤70%, ບໍ່ມີອາຍແກັສ corrosive |
| ປະສິດທິພາບການແປງໄມໂຄເວຟ | ≥60% |
ເພັດທີ່ປູກໃນຫ້ອງທົດລອງສີຂາວ ແລະສີ fancy ໃນຂະຫນາດ ແລະຮູບຮ່າງຕ່າງໆ;
ສະເໜີໃຫ້ເປັນຫີນທີ່ຜ່ານການຮັບຮອງ/ບໍ່ຢັ້ງຢືນ, ຄູ່ທີ່ຈັບຄູ່ກັນໄດ້, ແລະພັລສະຕິກທີ່ປັບທຽບໄດ້.
ໃນຖານະເປັນຜູ້ຜະລິດເພັດຊັ້ນນໍາຂອງ CVD, Crysdiam ກໍາລັງສະຫນອງຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງທີ່ໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກໍາເຄື່ອງປະດັບແລະຂົງເຂດເຕັກໂນໂລຢີສູງຕ່າງໆ.
EN
