MPCVD ရောင်းစက်သည် Crysdiam မှ ပြုလုပ်ထားပြီး ပုံမှန်အခွင့်အရေးများဖြင့် ပြင်ဆင်နိုင်သည်။
အင်တင်စီးမှု | AC380±10% V သုံးဖက်ငါးပိုင်းလိုင်းစနစ် 50Hz |
မိုက်ကွေးဝေါဗျ အထုပ်အဆောင် အင်တန် | 0-6kW တဆင့် လှိုင်းဖြင့် ပြင်ဆင်နိုင် |
စွမ်းအားတည်ငြိမ်မှု | 1% ထက် ပိုကောင်း |
မိုက်ကွေးဝေါဗျ ရဲ့ အချိန် | 2450MHz±50MHz |
သိမ်းဆည်းမှု ပျောက်ဆီးနေ့စဉ်အตรา | 1×10 ထက် ပိုကောင်း −9 Pa· m³/s |
အကူးဖြတ်မှု ဧရိယာ | ≥φ60mm |
လေပေးခြင်း | ≥ 4 လမ်း (တိုက်ရိုက်ပြောင်းလဲနိုင်) |
မိုက်ကွေဗျူးအားဖြင့် ထွက်လာသော တန်ဖိုးများ | <5mW/cm² |
အလုပ်ပတ်ဝန်းကျင် | အိုင်းတီ 15-40℃၊ ဆိုင်းရေပါတိုက်ချိန် ≤70%၊ ကားစ်မှုရှိသော ဂိုးမရှိ |
မိုက်ကွေဗျူး ပြောင်းလဲမှု ကျွမ်းကျင်မှု | ≥60% |
မျက်နှာရောင်နှင့် မျက်နှာရောင်မဟုတ်သော လက်ရှိသြဒ္ဓများကို အရာအမျိုးအစားများနှင့် ပုံစံများဖြင့် ပေးဆောင်သည်။
သုံးစွဲနိုင်သော သို့မဟုတ် သုံးစွဲမနိုင်သော ကျောက်များ၊ အတူညီသော 这对များနှင့် တိတ်တိုင်းသော ပို့စ်များကို ပေးဆောင်သည်။