MPCVD ဓာတ်ပေါင်းဖိုကို Crysdiam မှ ဉာဏမူပိုင်ခွင့်များ အပြည့်အ၀ဖြင့် တီထွင်ထားပြီး အဆင့်မြှင့်တင်နိုင်သည်။
| Power ကထောက်ပံ့ရေး | AC380±10% V သုံးဆင့်ငါးကြိုးစနစ် 50Hz |
| မိုက်ခရိုဝေ့အထွက်ပါဝါ | 0-6kW ဆက်တိုက်ချိန်ညှိနိုင်သည်။ |
| ပါဝါတည်ငြိမ်မှု | ၂% ထက်ပိုသည် |
| မိုက်ခရိုဝေ့ကြိမ်နှုန်း | 2450MHz ± 50MHz |
| ဖုန်စုပ်စက် ယိုစိမ့်မှုနှုန်း | 1×10 ထက် ပိုကောင်းပါတယ်။-9 Pa· m³/s |
| ထိရောက်သော ဖြစ်ထွန်းမှုဧရိယာ | ≥φ60mm |
| air Supply | ≥ 4 လမ်း (စိတ်ကြိုက်) |
| မိုက်ခရိုဝေ့ ယိုစိမ့်မှုတန်ဖိုးများ | ＜5mW/cm² |
| အလုပ်အဖွဲ့ပတ်ဝန်းကျင် | အပူချိန် 15-40 ℃၊ နှိုင်းရစိုထိုင်းဆ ≤ 70%, အဆိပ်ဓာတ်ငွေ့မရှိပါ။ |
| မိုက်ခရိုဝေ့ဖြင့် ပြောင်းလဲခြင်း ထိရောက်မှု | ≥60% |
အဖြူရောင်နှင့် ဖန်စီရောင်စုံ ဓာတ်ခွဲခန်းမှ စိုက်ပျိုးထားသော စိန်များကို အရွယ်အစားအမျိုးမျိုး၊
လက်မှတ်ရ/မသေချာသော ကျောက်များ၊ လိုက်ဖက်သောအတွဲများနှင့် ချိန်ညှိထားသော ပါဆယ်ထုပ်များအဖြစ် ကမ်းလှမ်းထားသည်။
ထိပ်တန်း CVD ဓာတ်ခွဲခန်းမှ စိန်ထုတ်လုပ်သူအနေဖြင့် Crysdiam သည် လက်ဝတ်ရတနာလုပ်ငန်းနှင့် နည်းပညာမြင့်နယ်ပယ်အသီးသီးတွင် အသုံးပြုသည့် အရည်အသွေးမြင့်ထုတ်ကုန်များကို ပံ့ပိုးပေးလျက်ရှိသည်။
EN
