Produkowany przez nas kondygnator dysku CMP wykonany jest z jednokrystalnego diamentu CVD. Bury diamentowych siatek mają jednorodne kształty i kontrolowane kąty, z prawie zerowym wskaźnikiem odpylenia. Po pewnym okresie użytkowania kondygnator może zostać nam zwrócony do naprawy, co znacząco poprawia efektywność kondygnacji poduszek polerujących dla waferów.
Kondygnator z jednokrystalnego diamentu CVD CMP produkowany przez Crysdiam | Inny zwykły kondygnator diamentowy CMP |
Wykonany z całościowej płytki jednokrystalnego diamentu CVD z jednolitymi bury w spójnym kształcie, zapewniając bardziej równomierne czesanie poduszki polerującej. | Utrzymywanie cząstek diamentowych metodą elektroplastyczności lub lutowania z nierównomiernym rozmiarem cząstek, co prowadzi do nierównych wysokości burów i słabszego efektu kondygnacji. |
Wykonany z całościowej płytki jednokrystalnego diamentu CVD i specjalnie przetworzony, aby zmniejszyć szanse odpylenia, co znacznie obniża ryzyko uszkodzenia waferów. | Odcięcie diamentowe może wystąpić podczas polerowania, powodując uszkodzenie płytek krzemu. |
Po określonym okresie użytkowania można je nam zwrócić na naprawę, co obniża koszty długoterminowego użytkowania. | Procesy lutowania lub elektroplatowania mają tendencję do wprowadzania metali obcych, które kontaminują taśmę polerującą wraz z pastą szlifującą. Metale obce będą kontaminować płytki krzemu, co spowoduje wyciekanie w układach scalonych. |
Kształt i kąt burtów mogą być dostosowywane, a głębokość rysowania i bruzd może być kontrolowana, co zmniejsza przesadne cięcie taśmy polerującej i przedłuża jej żywotność. | Możliwość regulacji głębokości cząstek i ostrości cięcia taśmy polerującej jest niska, co prowadzi do zbyt intensywnego zużycia taśmy. Efekt czkaniowania taśmy polerującej jest słaby, a czas życia jest skrócony. |
Wykładzina jednokrystalicznego diamentu to ciągła sieć kratownicy, gładka i bez odłamów, co redukuje defekty polerowania płytek krzemu. | Nie można kontrolować głębokości i odległości między bruzdami wydrapianymi w taflce polującej. Niska szybkość usuwania płytek krzemowych lub nierówna polerówka. |
Kryształ diamentowy jest przetwarzany za pomocą technologii laserowego graveowania, aby uniknąć zanieczyszczeń metalowych płyt krzemowych. | Użycie polikrystalicznego diamentu CVD o warstwie ceramicznej ma nieuporządkowaną orientację siatki krystalicznej, co sprawia, że nie można go ponownie użyć. Występuje klastrowanie, co zwiększa ryzyko defektów płyt i kosztów. |
Dostępne punkty do siatki 700, co znacząco zwiększa efektywność kondycjonowania. |
Białe i ekskluzywne kolory diamentów wyhodowanych w laboratorium w różnych rozmiarach i kształtach;
Oferty w postaci certyfikowanych/niecertyfikowanych kamieni, dopasowanych par oraz kalibrowanych paczek.