3.35 дюйма! Гомоэпитаксиальный монокристаллический алмаз Crysdiam снова прорывается Россия

Недавно в алмазном промышленном парке Crysdiam, как и планировалось, были запущены крупные монокристаллические алмазы CVD. Среди них внимание привлек монокристаллический алмаз размером 60 мм x 60 мм.

Гомоэпитаксиальные монокристаллические алмазные пластины производства Crysdiam

Слева: Размер продукта 60 мм x 60 мм; Справа: Размер длинной стороны 72.29 мм

В этих алмазных пластинах используется технология гомоэпитаксиального роста, что является не первой попыткой Crysdiam!

Базирующаяся в Нинбо, Китай, компания Crysdiam прошла более 10 технологических итераций с момента производства своего первого монокристаллического алмаза CVD в 2014 году. К концу 2023 года 3-дюймовый монокристаллический алмаз CVD был успешно произведен массово. Теперь продукт снова модернизирован, его размер превышает 3.35 дюйма, и Crysdiam делает рывок к производству монокристаллического алмаза размером 4 дюйма и более.

Хронология разработки продукта Crysdiam

Микроволновое плазменно-химическое осаждение из паровой фазы (MPCVD) широко признано лучшим методом производства крупногабаритных и высококачественных монокристаллических алмазов в отрасли. В настоящее время существует два основных технологических пути: гомоэпитаксиальный и гетероэпитаксиальный. По сравнению с гетероэпитаксиальным ростом преимущество гомоэпитаксиальной технологии заключается в высоком качестве кристаллов, низком внутреннем напряжении и плотности дислокаций, а также в возможности выращивать более крупные затравочные материалы для алмазов. Тем самым повышается эффективность увеличения площади. Однако эта технология также является весьма сложной.

Crysdiam всегда следовала по пути гомоэпитаксиального роста. Размер 60 мм x 60 мм, преобразованный в общепринятые единицы измерения в полупроводниковой промышленности, составляет приблизительно 3.35 дюйма. Это также первый раз, когда Crysdiam отчиталась перед общественностью.

Ускорение формирования новых качественных производительных сил означает ускорение прорывных инноваций с 0 до 1 и повышение стабильности с 1 до 100. Председатель Цзюньань Чжан сказал: «В настоящее время наше производственное оборудование прошло несколько раундов модернизации и итераций, расширившись до 1500 реакторов. Это означает, что наша годовая производственная мощность крупногабаритных высококачественных монокристаллических алмазов CVD достигла 2 миллионов карат, что является одним из лучших показателей в мире».

В настоящее время Crysdiam сформировала завершенную промышленную схему и стандартизированные производственные мощности для алмазных материалов, соответствующего оборудования и приложений. Содержание примесей в монокристаллическом алмазе CVD, производимом Crysdiam, составляет менее 10 ppb, шероховатость поверхности составляет менее 1 нм, и его можно контролируемо легировать элементами азота и бора, что закладывает более прочную основу для функционального применения алмазных материалов.

Это долгий и трудный путь от хороших технологий в инновационной цепочке до новых приложений в промышленной цепочке. «Длинный материал» — это только начало.

Производственная мощность Crysdiam достигнута, и следующим шагом станет ускорение инновационной связи с начальным и конечным этапами промышленной цепочки.

Председатель правления Цзюньань Чжан представил информацию о том, что Crysdiam активизирует совместные исследования и разработки с соответствующими предприятиями и научно-исследовательскими институтами.

Промышленный парк Crysidam Diamond и различное оборудование вдоль промышленной линии

Что Crysdiam нужно сделать, так это сосредоточиться на отраслевом спросе, постоянно внедрять инновации и итерировать после завершения независимых инноваций в алмазной продукции, реакторе роста, лазерном оборудовании, оборудовании для обработки, инспекционном и испытательном оборудовании. В конечном итоге, он будет стоять на переднем крае развития алмазной промышленности, расширяясь вниз и расширяя приложения

В настоящее время центр НИОКР высокого уровня Crysdiam превратился из чертежа проекта в реальность. Он занимает площадь 82,000 1 квадратных метров, с первоначальными инвестициями в 80,000 миллиард юаней. Современный алмазный промышленный парк с площадью застройки более XNUMX XNUMX квадратных метров был введен в эксплуатацию. Это повысило уверенность Crysdiam в достижении коммерциализации научных достижений.

«Первое китайское предприятие, специализирующееся на промышленном производстве CVD-монокристаллических алмазов»; «Первый реактор для выращивания монокристаллических алмазов методом MPCVD с независимыми правами интеллектуальной собственности»; «Первая линия промышленного производства крупных монокристаллических алмазов методом CVD с независимыми правами интеллектуальной собственности»... Все это стало первым впечатлением от Crysdiam. В будущем этот путь инноваций будет продолжен.