CMP-skaftskonditionaren som vi tillverkar består av enstaka kristall CVD-diamant. Diamantsnaglarnas kanter har enhetliga former och kontrollerbara vinklar, med ett nästan nollprocentigt avfallningshastighet. Konditionaren kan skickas tillbaka till oss för reparation efter en period av användning, vilket betydligt förbättrar polerings-effektiviteten för polishandsken på vafärerna.
CMP Enstaka Kristall CVD Diamantkonditionare Producera Av Crysdiam | Andra Vanliga CMP Diamantkonditionare |
Består av enstaka kristall CVD-diamantplatta i sin helhet, med enhetliga kanter i konsekvent form, vilket ger en mer jämn borstning av polishandsken. | Fäster diamantpartiklar genom elektrolysering eller loddning med ojämna partikeldiameter, vilket resulterar i ojämna höjder på kanterna och dålig konditionerings-effekt. |
Består av enstaka kristall CVD-diamantplatta i sin helhet och är speciellt behandlad för att ha en låg chans att förlora partiklar, vilket mycket minskar risken för skador på vafärerna. | Diamantavlossning kan inträffa under poleringen, vilket skadar wafern. |
Efter en period av användning kan den skickas tillbaka till oss för reparation, vilket minskar kostnaderna för långsiktig användning. | Lödnings- eller elektroplateringsprocesser tenderar att införa metalla nätter som förorenar poleringspallen med abrasivt slurry. Metalla nätter kommer att förorena wafern, vilket leder till läckage av integrerade kretsar. |
Formen och vinkeln på burrarna kan anpassas, och djupet av skåror och groover kan kontrolleras, vilket minskar över-polering av poleringspallen och förlänger deras livslängd. | Förmågan att justera partikeldjupet och skärpan vid polering är låg, vilket leder till överdriven utvning av paden. Poleringspadens kombinerade effekt är dålig, och tjänstelivet förkortas. |
Den exponerade ytan av det enkristalliga diamanten är ett kontinuerligt gittermönster, slätt och utan spaltningar, vilket minskar defekter vid waferpolering. | Kan inte kontrollera djupet och avståndet mellan fåror som har gravats i poleringspallen. Låg fjäderborttagning eller ojämn polering. |
Enkristallsmur är bearbetad med lasergravteknik för att undvika metallföroreningar av vafärer. | Användning av keramikklädd CVD-polycrystallsmur har en oordnad gitterorientering vilket gör det omöjligt att återanvända den. Klyvning inträffar, vilket ökar risken för vaférfel och kostnader. |
Tillgängliga punkter upp till 700 mask, vilket betydligt höjer konditioneringseffektiviteten. |
Vita och färgade laboratoriediamanter i olika storlekar och former;
Tillgängliga som certifierade/okertifierade stenar, matchade par, och kalibrerade partier.