إن جهاز معالجة الأقراص CMP الذي ننتجه مصنوع من الماس أحادي البلورات CVD. تتميز نتوءات شبكات الماس بأشكال موحدة وزوايا يمكن التحكم فيها، مع معدل إزالة حبيبات يكاد يكون صفرًا. يمكن إرجاع جهاز المعالجة إلينا للإصلاح بعد فترة من الاستخدام، مما يعزز بشكل كبير من كفاءة معالجة وسادة التلميع للرقائق.
بلسم الماس CVD أحادي البلورة CMP من إنتاج شركة Crysdiam | بلسم CMP Diamond العادي الآخر |
مصنوع من لوح الماس CVD أحادي البلورة ككل، مع نتوءات موحدة في شكل ثابت، مما يوفر تمشيطًا أكثر توازناً لوسادة التلميع. | تثبيت جزيئات الماس عن طريق الطلاء الكهربائي أو اللحام بحجم جزيئات غير موحد، مما يؤدي إلى ارتفاعات غير متساوية للنتوءات وتأثير تكييف ضعيف. |
مصنوعة من لوحة الماس CVD أحادية البلورة ككل وتم معالجتها بشكل خاص لتقليل فرصة سقوط الحبوب، مما يقلل بشكل كبير من خطر تلف الرقائق. | قد يحدث انفصال الماس أثناء التلميع، مما يؤدي إلى إتلاف الرقائق. |
بعد فترة من الاستخدام، يمكن إعادته إلينا للإصلاح، مما يقلل من تكاليف الاستخدام على المدى الطويل. | تميل عمليات اللحام أو الطلاء الكهربائي إلى جلب شوائب معدنية تلوث وسادة التلميع بالطين الكاشط. ستؤدي الشوائب المعدنية إلى تلويث الرقائق، مما يؤدي إلى تسرب الدوائر المتكاملة. |
يمكن تخصيص شكل وزاوية النتوءات، ويمكن التحكم في عمق التسجيل والأخاديد، مما يقلل من الإفراط في قطع وسادة التلميع ويطيل عمرها الافتراضي. | القدرة على ضبط عمق الجسيمات وحِدة القطع في وسادة التلميع منخفضة، مما يؤدي إلى تآكل مفرط لوسادة التلميع. تأثير تمشيط وسادة التلميع ضعيف، وعمر الخدمة قصير. |
إن السطح المكشوف للماس البلوري المفرد عبارة عن نمط مستمر من الشبكة، أملس وخالٍ من الانقسام، مما يقلل من عيوب تلميع الرقاقة. | عدم القدرة على التحكم في عمق وتباعد الأخاديد المحفورة في وسادة التلميع. معدل إزالة الرقاقة منخفض أو تلميع غير متساوٍ. |
يتم معالجة الماس البلوري الفردي باستخدام تقنية النقش بالليزر لتجنب تلوث الرقائق بالمعادن. | إن استخدام الماس متعدد البلورات المغطى بالسيراميك باستخدام تقنية الترسيب الكيميائي للبخار له اتجاه شبكي غير منظم مما يجعل إعادة استخدامه مستحيلاً. ويحدث انقسام، مما يزيد من خطر عيوب الرقاقة والتكلفة. |
تتوفر نقاط تصل إلى 700 شبكة، مما يزيد من كفاءة التكييف بشكل كبير. |
الماس الأبيض والألوان الفاخرة المزروع في المختبر بأحجام وأشكال مختلفة؛
يتم تقديمها كأحجار معتمدة/غير معتمدة، وأزواج متطابقة، وطرود معايرة.