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Mechanische Qualität

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CMP Diamantbedingung

Einkristalliger CVD-Diamant

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Produktbeschreibung

Der von uns hergestellte CMP-Scheibenjustierer besteht aus mono-kristallinem CVD-Diamant. Die Kanten der Diamantgitter haben einheitliche Formen und kontrollierbare Winkel, mit einem nahezu null Prozentigen Abrieb. Der Justierer kann nach einer gewissen Nutzungsdauer zu uns zurückgesandt werden, um repariert zu werden, was die Effizienz der Justierung des Polierpads für Wafer erheblich steigert.

TECHNISCHE DATEN

CMP-Einzelkristall-CVD-Diamant-Justierer von Crysdiam Andere gewöhnliche CMP-Diamant-Justierer
Aus einem einzigen mono-kristallinen CVD-Diamantblech gefertigt, mit einheitlichen Kanten in konsistenter Form, das eine gleichmäßigere Bearbeitung des Polierpads bietet. Fixierung von Diamantpartikeln durch Elektroplattierung oder Löten mit ungleichmäßiger Partikelgröße, was zu unterschiedlichen Höhen der Kanten führt und zu schlechten Justierungsergebnissen.
Aus einem einzigen mono-kristallinen CVD-Diamantblech gefertigt und speziell behandelt, um das Risiko eines Teilchenabfalls zu minimieren, was das Risiko von Schäden an den Wafers erheblich reduziert. Der Diamantabrieb kann während des Schleifens auftreten und die Wafer beschädigen.
Nach einer Nutzungsdauer kann es uns zur Reparatur zurückgesandt werden, was die langfristigen Betriebskosten reduziert. Löt- oder Elektroplattierungsprozesse neigen dazu, metallische Verunreinigungen einzuführen, die das Schleifpolster mit dem abrasiven Schleifsuspension verunreinigen. Metallische Verunreinigungen können die Wafer kontaminieren und zu Leckagen von integrierten Schaltkreisen führen.
Die Form und der Winkel der Stacheln können angepasst werden, und die Tiefe der Einschnitte und Furchen kann gesteuert werden, was Überbearbeitung des Polsters reduziert und deren Dienstleben verlängert. Die Fähigkeit, die Teilchentiefe und die Schärfe des Polsters anzupassen, ist gering, was zu übermäßiger Abnutzung des Polsters führt. Der Kombi-Effekt des Polsters ist schlecht, und die Lebensdauer wird verkürzt.
Die freigelegte Oberfläche des Einkristall-Diamanten zeigt ein kontinuierliches Gittermuster, glatt und spaltfrei, was polierte-Wafer-Fehler reduziert. Unfähig, die Tiefe und das Abstand der in den Schleifpad eingeritzten Rillen zu kontrollieren. Niedrige Entfernungsrate der Wafer oder ungleichmäßiges Schleifen.
Einkristall-Diamant wird mit Laser-Gravur-Technologie verarbeitet, um Metallkontamination der Wafer zu vermeiden. Die Verwendung von keramikbeschichteten CVD-Polycrystall-Diamanten hat eine ungeordnete Gitterorientierung, die es unmöglich macht, sie wiederverwenden zu können. Spaltungen treten auf, was das Risiko von Wafer-Fehlern und Kosten erhöht.
Verfügbare Punkte bis zu 700 Maschen, was die Effizienz des Conditioning erheblich steigert.

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