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Mechanische Qualität

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CMP Diamant Conditioner Deutschland

Einkristalliner CVD-Diamant

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Beschreibung

Der von uns hergestellte CMP-Disc-Conditioner besteht aus monokristallinem CVD-Diamant. Die Grate der Diamantgitter haben gleichmäßige Formen und steuerbare Winkel, wobei die Degranulationsrate nahezu Null beträgt. Der Conditioner kann nach einer gewissen Nutzungsdauer zur Reparatur an uns zurückgeschickt werden, was die Konditionierungseffizienz des Polierpads für Wafer deutlich verbessert.

Spezifikationen

CMP-Einkristall-CVD-Diamant-Conditioner, hergestellt von Crysdiam Andere gewöhnliche CMP Diamant-Conditioner
Die Platte besteht vollständig aus einem CVD-Diamantkristall und hat gleichmäßige Grate in gleichbleibender Form, die für ein gleichmäßigeres Kämmen des Polierpads sorgen. Fixierung von Diamantpartikeln mit ungleichmäßiger Partikelgröße durch Galvanisierung oder Löten, was zu ungleichmäßiger Grathöhe und schlechter Konditionierungswirkung führt.
Die Platte besteht vollständig aus einem CVD-Diamant-Einkristall und ist speziell behandelt, um die Wahrscheinlichkeit von herabfallenden Körnern zu verringern. Dadurch wird die Gefahr einer Beschädigung der Wafer erheblich verringert. Beim Polieren kann es zu einer Ablösung der Diamanten und dadurch zu einer Beschädigung der Wafer kommen.
Nach einer gewissen Nutzungsdauer können Sie es zur Reparatur an uns zurückschicken, wodurch die langfristigen Nutzungskosten gesenkt werden. Beim Löten oder Galvanisieren treten häufig metallische Verunreinigungen auf, die das Polierpad mit der Schleifschlämme verunreinigen. Metallische Verunreinigungen verunreinigen die Wafer und führen zu Undichtigkeiten in integrierten Schaltkreisen.
Form und Winkel der Fräser können individuell angepasst und die Tiefe der Rillen und Rillen gesteuert werden. Dadurch wird ein Überschneiden des Polierpads verringert und die Lebensdauer verlängert. Die Einstellbarkeit der Partikeltiefe und Schnittschärfe des Polierpads ist gering, was zu übermäßigem Verschleiß des Pads führt. Der Kämmeffekt des Polierpads ist schlecht und die Lebensdauer wird verkürzt.
Die freiliegende Oberfläche des Einkristalldiamanten weist ein durchgehendes Gittermuster auf, ist glatt und weist keine Spaltungen auf, wodurch die Zahl der Polierfehler der Wafer verringert wird. Tiefe und Abstand der in das Polierpad geätzten Rillen können nicht kontrolliert werden. Geringe Waferabtragsrate oder ungleichmäßiges Polieren.
Einkristalldiamant wird mithilfe der Lasergravurtechnologie verarbeitet, um eine Metallverunreinigung der Wafer zu vermeiden. Bei der Verwendung von keramikbeschichtetem CVD-Polykristalldiamant entsteht eine ungeordnete Gitterorientierung, die eine Wiederverwendung unmöglich macht. Es kommt zu Spaltungen, die das Risiko von Waferdefekten und die Kosten erhöhen.
Die verfügbaren Maschenweiten bis zu 700 erhöhen die Konditionierungseffizienz erheblich.

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