O condicionador de disco CMP que produzimos é feito de diamante CVD de cristal único. As rebarbas das grades de diamante têm formas uniformes e ângulos controláveis, com uma taxa de desgranulação quase zero. O condicionador pode ser devolvido para nós para reparo após um período de uso, o que aumenta significativamente a eficiência de condicionamento da almofada de polimento para wafers.
Condicionador de diamante CVD de cristal único CMP produzido pela Crysdiam | Outro condicionador de diamante CMP comum |
Feito de placa de diamante CVD de cristal único como um todo, com rebarbas uniformes em formato consistente, proporcionando um penteamento mais uniforme da almofada de polimento. | Fixação de partículas de diamante por galvanoplastia ou soldagem com tamanho de partícula não uniforme, o que resulta em alturas irregulares de rebarbas e efeito de condicionamento ruim. |
Feito de placa de diamante CVD de cristal único como um todo e especialmente tratado para ter uma baixa chance de queda de grãos, o que reduz muito o risco de danos aos wafers. | O desprendimento do diamante pode ocorrer durante o polimento, danificando as pastilhas. |
Após um período de uso, ele pode ser devolvido para reparo, reduzindo os custos de uso a longo prazo. | Os processos de soldagem ou galvanoplastia tendem a trazer impurezas metálicas que contaminam a almofada de polimento com a pasta abrasiva. Impurezas metálicas contaminarão os wafers, levando ao vazamento de circuitos integrados. |
O formato e o ângulo das rebarbas podem ser personalizados, e a profundidade das ranhuras e vincos pode ser controlada, reduzindo o corte excessivo da almofada de polimento e estendendo sua vida útil. | A capacidade de ajustar a profundidade das partículas e a nitidez de corte da almofada de polimento são baixas, o que leva ao desgaste excessivo da almofada. O efeito de pentear da almofada de polimento é ruim e a vida útil é encurtada. |
A superfície exposta do diamante de cristal único é um padrão contínuo de estrutura, lisa e sem clivagens, reduzindo defeitos de polimento da pastilha. | Não é possível controlar a profundidade e o espaçamento das ranhuras gravadas na almofada de polimento. Baixa taxa de remoção de wafer ou polimento irregular. |
O diamante monocristalino é processado usando tecnologia de gravação a laser para evitar a contaminação metálica das pastilhas. | O uso de diamante policristalino CVD revestido de cerâmica tem uma orientação de rede desorganizada que o torna impossível de ser reutilizado. Ocorre clivagem, o que aumenta o risco de defeitos no wafer e o custo. |
Pontos disponíveis de até 700 mesh aumentam significativamente a eficiência do condicionamento. |
Diamantes cultivados em laboratório, brancos e coloridos, em vários tamanhos e formatos;
Oferecidas como pedras certificadas/não certificadas, pares combinados e parcelas calibradas.