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Condicionador Diamante CMP

Diamante CVD de cristal único

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Descrição do Produto

O condicionador de disco CMP que produzimos é feito de diamante CVD de cristal único. As rebarbas das grades de diamante têm formas uniformes e ângulos controláveis, com uma taxa de desgranulação quase zero. O condicionador pode ser devolvido para nós para reparo após um período de uso, o que aumenta significativamente a eficiência de condicionamento da almofada de polimento para wafers.

Especificações

Condicionador de diamante CVD de cristal único CMP produzido pela Crysdiam Outro condicionador de diamante CMP comum
Feito de placa de diamante CVD de cristal único como um todo, com rebarbas uniformes em formato consistente, proporcionando um penteamento mais uniforme da almofada de polimento. Fixação de partículas de diamante por galvanoplastia ou soldagem com tamanho de partícula não uniforme, o que resulta em alturas irregulares de rebarbas e efeito de condicionamento ruim.
Feito de placa de diamante CVD de cristal único como um todo e especialmente tratado para ter uma baixa chance de queda de grãos, o que reduz muito o risco de danos aos wafers. O desprendimento do diamante pode ocorrer durante o polimento, danificando as pastilhas.
Após um período de uso, ele pode ser devolvido para reparo, reduzindo os custos de uso a longo prazo. Os processos de soldagem ou galvanoplastia tendem a trazer impurezas metálicas que contaminam a almofada de polimento com a pasta abrasiva. Impurezas metálicas contaminarão os wafers, levando ao vazamento de circuitos integrados.
O formato e o ângulo das rebarbas podem ser personalizados, e a profundidade das ranhuras e vincos pode ser controlada, reduzindo o corte excessivo da almofada de polimento e estendendo sua vida útil. A capacidade de ajustar a profundidade das partículas e a nitidez de corte da almofada de polimento são baixas, o que leva ao desgaste excessivo da almofada. O efeito de pentear da almofada de polimento é ruim e a vida útil é encurtada.
A superfície exposta do diamante de cristal único é um padrão contínuo de estrutura, lisa e sem clivagens, reduzindo defeitos de polimento da pastilha. Não é possível controlar a profundidade e o espaçamento das ranhuras gravadas na almofada de polimento. Baixa taxa de remoção de wafer ou polimento irregular.
O diamante monocristalino é processado usando tecnologia de gravação a laser para evitar a contaminação metálica das pastilhas. O uso de diamante policristalino CVD revestido de cerâmica tem uma orientação de rede desorganizada que o torna impossível de ser reutilizado. Ocorre clivagem, o que aumenta o risco de defeitos no wafer e o custo.
Pontos disponíveis de até 700 mesh aumentam significativamente a eficiência do condicionamento.

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