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Reator MPCVD

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Reator MPCVD

Desenvolvido pela Crysdiam e atualizável

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Descrição do Produto

O reator MPCVD foi desenvolvido pela Crysdiam com direitos de propriedade intelectual completos e é atualizável.

Especificações

Fonte de alimentação AC380±10% V sistema trifásico de cinco fios 50Hz
Potência de Saída de Microondas 0-6kW continuamente ajustável
Estabilidade de Potência Melhor que 1%
Frequência de microondas 2450MHz±50MHz
Taxa de Vazamento de Vácuo Melhor que 1×10 −9 Pa· m³/s
Área Eficaz de Deposição ≥φ60mm
Abastecimento de Ar ≥ 4 vias (personalizável)
Valores de Vazamento de Micro-ondas <5mW/cm²
Ambiente de trabalho Temperatura 15-40℃, umidade relativa ≤70%, sem gás corrosivo
Eficiência de Conversão de Microondas ≥60%

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