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reator mpcvd909-44

Reator MPCVD

Desenvolvido pela Crysdiam e atualizável 

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Descrição do Produto

O reator MPCVD foi desenvolvido pela Crysdiam com todos os direitos de propriedade intelectual e pode ser atualizado.

Especificações

Fonte de alimentação do laboratório Sistema trifásico de cinco fios AC380±10% V 50Hz
Potência de saída de microondas 0-6kW continuamente ajustável
Estabilidade de energia Melhor que 1%
Freqüência de microondas 2450MHz ± 50MHz
Taxa de vazamento de vácuo Melhor que 1×10-9 Pa· m³/s
Área de deposição efetiva ≥φ60 mm
Air Supply ≥ 4 vias (personalizável)
Valores de vazamento de micro-ondas <5mW/cm²
Ambiente de trabalho Temperatura 15-40℃, umidade relativa ≤70%, sem gás corrosivo
Eficiência de conversão de micro-ondas ≥% 60

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