เครื่องปรับสภาพแผ่น CMP ที่เราผลิตขึ้นนั้นทำจากเพชร CVD แบบผลึกเดี่ยว ใบมีดของกริดเพชรมีรูปร่างที่สม่ำเสมอและมุมที่ควบคุมได้ โดยมีอัตราการสลายตัวที่แทบจะเป็นศูนย์ เครื่องปรับสภาพสามารถส่งคืนให้เราซ่อมแซมได้หลังจากใช้งานไประยะหนึ่ง ซึ่งช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการปรับสภาพของแผ่นขัดสำหรับเวเฟอร์ได้อย่างมาก
ครีมปรับสภาพเพชร CMP Single Crystal CVD ผลิตโดย Crysdiam | ครีมนวดผมไดมอนด์ CMP ธรรมดาอื่นๆ |
ผลิตจากแผ่นขัดเพชร CVD แบบคริสตัลเดี่ยวทั้งแผ่น โดยมีเศษขัดที่สม่ำเสมอและมีรูปร่างสม่ำเสมอ ช่วยให้ขัดแผ่นขัดได้สม่ำเสมอยิ่งขึ้น | การตรึงอนุภาคเพชรโดยการชุบด้วยไฟฟ้าหรือการบัดกรีด้วยขนาดอนุภาคที่ไม่สม่ำเสมอ ซึ่งส่งผลให้ความสูงของเสี้ยนไม่สม่ำเสมอและมีผลการปรับสภาพที่ไม่ดี |
ผลิตจากแผ่นเพชร CVD แบบคริสตัลเดี่ยวทั้งแผ่น และได้รับการปรับปรุงเป็นพิเศษเพื่อให้มีโอกาสที่เมล็ดจะหล่นออกมาน้อย ซึ่งช่วยลดความเสี่ยงต่อความเสียหายของเวเฟอร์ได้อย่างมาก | การหลุดออกของเพชรอาจเกิดขึ้นระหว่างการขัด ส่งผลให้เวเฟอร์เสียหายได้ |
หลังจากใช้งานระยะหนึ่งก็สามารถส่งคืนมาซ่อมได้ ช่วยลดต้นทุนการใช้งานในระยะยาว | กระบวนการบัดกรีหรือการชุบด้วยไฟฟ้ามีแนวโน้มที่จะนำเอาสิ่งเจือปนโลหะเข้ามาซึ่งจะทำให้แผ่นขัดปนเปื้อนด้วยสารละลายที่มีฤทธิ์กัดกร่อน สิ่งเจือปนโลหะจะปนเปื้อนเวเฟอร์ ส่งผลให้วงจรรวมรั่วไหล |
สามารถปรับแต่งรูปร่างและมุมของหัวเจียรได้ และสามารถควบคุมความลึกของการขูดและร่องได้ ทำให้ลดการตัดเกินของแผ่นขัดและยืดอายุการใช้งาน | ความสามารถในการปรับความลึกของอนุภาคและความคมในการตัดของแผ่นขัดนั้นต่ำ ซึ่งทำให้แผ่นขัดสึกหรอมากเกินไป ประสิทธิภาพของแผ่นขัดในการหวีไม่ดี และอายุการใช้งานก็สั้นลง |
พื้นผิวที่เปิดเผยของเพชรผลึกเดี่ยวเป็นรูปแบบตาข่ายต่อเนื่อง เรียบเนียน และไม่มีรอยแยก ช่วยลดข้อบกพร่องในการขัดเวเฟอร์ | ไม่สามารถควบคุมความลึกและระยะห่างของร่องที่กัดไว้ในแผ่นขัดได้ อัตราการขจัดแผ่นเวเฟอร์ต่ำหรือการขัดที่ไม่สม่ำเสมอ |
เพชรผลึกเดี่ยวได้รับการประมวลผลโดยใช้เทคโนโลยีการแกะสลักด้วยเลเซอร์เพื่อหลีกเลี่ยงการปนเปื้อนของโลหะในเวเฟอร์ | การใช้เพชรโพลีคริสตัลไลน์เคลือบเซรามิก CVD ทำให้โครงตาข่ายไม่เป็นระเบียบ ทำให้ไม่สามารถนำกลับมาใช้ซ้ำได้ เกิดการแตกออก ทำให้มีความเสี่ยงต่อข้อบกพร่องของแผ่นเวเฟอร์และต้นทุนเพิ่มขึ้น |
จำนวนจุดที่ใช้ได้สูงสุดถึง 700 เมช ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการปรับสภาพอย่างมาก |
เพชรสังเคราะห์สีขาวและสีแฟนซีหลากหลายขนาดและรูปทรง
มีจำหน่ายทั้งแบบมี/ไม่มีการรับรอง แบบคู่ที่ตรงกัน และแบบพัสดุที่ผ่านการปรับเทียบแล้ว