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耐熱グレード

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ダイヤモンドマイクロチャネル 日本

単結晶CVDダイヤモンド

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製品説明

単結晶ダイヤモンド上にマイクロチャネル構造を作製し、流体を利用して内部の熱を排出することで、より高い放熱効率を実現できます。当社は、カスタマイズ可能な表面グラフィックを備えたダイヤモンド マイクロチャネルを製造しています。

仕様

プロパティ
体積抵抗率(Rv) 1x1012 Ω・cm
表面抵抗率(Rs) 1x1010 Ω・cm
熱伝導率 >2000W/mK
熱拡散率 >11.1 cm²/秒
熱膨張係数 1.0±0.1ppm/K
プロセス標準
結晶方位 100 110 111
メイン面方向のミスカット 3°±
商品サイズ 30mm×30mm×12mm以内
横方向許容差 ±0.05mm
厚さの許容 ±0.1mm
表面粗さ <10nm
エッジカッティング レーザー切断

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